Influence de la tension d’accélération sur la microanalyse

La tension d’accélération du faisceau d’électrons incident est un des paramètres importants de la microanalyse

1) Les électrons incidents ne pourront pas éjecter des électrons d’une énergie supérieure à la leur (c’est logique!) le spectre va donc s’arrêter sur l’axe des abscisses à la valeur d’énergie qui correspond à la tension d’accélération. Par exemple si l’on utilise une tension d’accélération de 15 kV le photon le plus énergétique détecté aura une énergie de 15 KeV.

2) La quantité de photons produite dans une gamme d’énergie est elle aussi fonction de la tension d’accélération. Le maximum de photons d’une énergie donnée sera produit pour une tension d’accélération 2.5 fois supérieure à l’énergie des photons. Par exemple une tension d’accélération de 15 kV va être efficace pour produire des photons de 6 keV.

La figure suivante représente le spectre de rayons X du cuivre pour des tensions allant de 6 à 30 kV (positionnez le curseur sur la valeur de tension souhaitée). On trouve de gauche à droite les raies L (confondues) et les deux raies Ka puis Kb.

kV.gif (1271 octets)

Il est donc important de choisir une tension d’accélération compatible avec les éléments (donc les raies) que l’on analyse. Des tensions faibles pour les éléments légers devront être utilisées alors que l’on privilégiera des tensions plus fortes pour les éléments lourds.

ATTENTION: Le volume analysé dépend lui aussi de la tension d’accélération comme nous l’avons vu à la page résolution.

On comprend qu’il est indispensable pour la quantification de prendre en compte la tension d’accélération avec laquelle on a fait la mesure, car on peut voir qu’un grand pic ne signifie pas forcement une quantité importante. Cette prise en compte et faite automatiquement par le logiciel lorsque l’on quantifie les éléments.

Microanalyse X

Microanalyse X aspects quantitatifs

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